(一)工作原理
 

　　進口探針臺通過機械探針與半導(dǎo)體晶圓或芯片上的焊盤建立可靠的電氣連接，從而實現(xiàn)對芯片電性能的測試。在測試過程中，探針臺的精密定位平臺將探針精準(zhǔn)地移動到芯片的測試點上，施加特定的電信號，并采集芯片反饋的信號，以評估芯片的各項性能指標(biāo)，如電流、電壓、電阻、電容等。同時，探針臺還可與外部測試儀器(如半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、示波器、頻譜分析儀等)配合使用，對芯片進行更全面、深入的測試。
 

　　(二)關(guān)鍵技術(shù)
 

　　高精度定位技術(shù)：進口探針臺通常采用先進的運動控制技術(shù)，如高精度絲桿導(dǎo)軌、直線電機、氣浮軸承等，配合高分辨率的光柵尺或磁柵尺反饋系統(tǒng)，實現(xiàn)納米級的定位精度。例如，某些探針臺的定位精度可達 ±0.5μm 甚至更高，能夠滿足先進制程芯片微小測試點的對準(zhǔn)需求。
 

　　探針卡技術(shù)：探針卡是探針臺的核心部件之一，它集成了數(shù)十到數(shù)千根探針，用于與芯片焊盤進行電氣接觸。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，探針卡也在不斷創(chuàng)新，出現(xiàn)了多種新型探針結(jié)構(gòu)和材料。如 MEMS(微機電系統(tǒng))探針卡，采用 MEMS 工藝制造，具有尺寸小、精度高、壽命長等優(yōu)點，能夠?qū)崿F(xiàn)超密間距測試，適應(yīng) 5nm 以下制程芯片的微凸點和混合鍵合結(jié)構(gòu)的測試需求；垂直探針卡則具有更好的電氣性能和接觸穩(wěn)定性，適用于高頻、高速信號測試以及對接觸力要求較高的應(yīng)用場景。
 

　　環(huán)境模擬技術(shù)：為了模擬芯片在實際工作中的各種環(huán)境條件，進口探針臺配備了完善的環(huán)境模擬系統(tǒng)。該系統(tǒng)可實現(xiàn)對溫度、濕度、氣壓、電磁干擾等環(huán)境參數(shù)的精確控制。例如，溫度控制范圍可從 - 60℃至 300℃甚至更寬，能夠滿足汽車電子、航空航天等領(lǐng)域?qū)π酒跇O端溫度環(huán)境下的可靠性測試需求；通過電磁屏蔽技術(shù)，可有效消除外界電磁干擾，保證對高頻、高靈敏度芯片的測試準(zhǔn)確性。
 

　　自動化與智能化技術(shù)：現(xiàn)代進口探針臺越來越多地采用自動化和智能化技術(shù)，以提高測試效率和測試質(zhì)量。自動化功能包括自動上下料、自動晶圓對準(zhǔn)、自動探針定位等，減少了人工操作帶來的誤差和時間損耗。智能化技術(shù)則體現(xiàn)在通過集成 AI 算法，實現(xiàn)測試參數(shù)的自適應(yīng)調(diào)整、探針磨損監(jiān)測與預(yù)測、測試數(shù)據(jù)的實時分析與處理等。例如，某些探針臺能夠根據(jù)實時測試數(shù)據(jù)動態(tài)優(yōu)化探針與芯片焊盤的接觸力，在保證測試準(zhǔn)確性的同時，降低探針磨損率和芯片焊盤損傷風(fēng)險。